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科技報導

中芯國際採購美國泛林半導體裝備 加速14nm量產



國內最大的晶圓代工廠中芯國際18日宣布,公司在2019年3月12日至2020年2月17日的12個月期間就機器及設備向泛林團體發出一系列購買單,花費斥資6.01億美元(約合42億元人民幣)。

泛林Lam Research是一家美國公司,也是全球半導體裝備行業的巨頭之一,與應用材料、KLA科磊齊名,2019年營收95億美元,在全球半導體裝備行業位列第四,僅次於ASML 、TEL日本東京電子及KLA。

泛林生產的設備主要是蝕刻機、CVD(化學氣相沉積)、清洗、鍍銅等設備,其中來自中國市場的客戶是第一大來源。

中芯國際採購美國泛林半導體裝備 加速14nm量產 1

結合中芯國際最新財報中的說法,過去一年中花費42億元購買泛林半導體設備(採購自泛林的只是其中一部分)顯然是為了擴大14nm工藝生產,在去年底開始量產之後,14nm工藝的產能就是中芯國際的重點。

根據根據中芯國際聯席CEO梁孟鬆的說法,14nm月產能將在今年3月達到4K,7月達到9K,12月達到15K

中芯國際的14nm產能在15K晶圓/月之後應該不會繼續提升了,還有更新的工藝。

除了14nm及改進型的12nm工藝之外,中芯國際的N+1、N+2代工藝也會陸續在今年底開始試產,相當於台積電7nm低功耗、7nm高性能工藝級別,未來一兩年也會是產能建設的重點。

在美國封殺華為等中國公司日趨瘋狂的背景下,國產14nm工藝加快產能建設將有助於國產芯片發展,避免受制於人。