ASML公司CEO:中國晶片落後世界8年,因為他們已經8年沒有拿到我們的EUV微影機

ASML總裁Christophe Fouquet在接受荷蘭《電訊報》記者採訪時表示:就EUV技術來說,沒有看到任何證據能夠證明中國已經在突破封鎖,這是一個十年以上的大工程,而不是兩三年的小項目。 中國已經長達8年沒有獲得我們的EUV光刻機,在先進晶片製造上落後約8年。 不過中國也正在取得一些技術成果,而中國仍在持續投入巨資研發設備,這必然會影響全球晶片產業的格局。

第01部分

初見端倪

中國大陸晶圓製造業與ASML的合作可追溯至2000年代初。以中芯國際為代表的晶圓廠,長期採購i-line、KrF以及ArF等DUV光刻設備,支撐起從90nm到28nm的製程演進。

2018年成為關鍵轉捩點。當時中芯國際曾計劃採購一台EUV光刻機,這是中國企業首次接近先進製程核心設備。但隨後,在美國政府持續施壓下,荷蘭政府最終未批准出口許可,這台設備未能交付。

同一時期,華為、中興通訊相繼遭遇制裁,美西方對中國半導體技術限制越演越烈。

第02部分

全面圍堵

進入2019年後,圍繞先進製程的封鎖進一步加劇。

EUV設備成為絕對禁區。由於其涉及超高精度光源(13.5nm波長)、反射鏡系統以及複雜的系統集成,全球僅ASML具備量產能力。缺失EUV光刻機中國完全失去先進製程的製程能力。

不僅EUV,部分先進DUV設備(如浸沒式ArF)也被納入出口管制,使中國企業在14nm及以下節點的擴展能力受限。

提出最嚴限制法案:只要是中國人造不出來的設備,全部禁止出口。只要是那些中國企業高度依賴進口,且本土企業無法製造出來的技術設備,美國企業及盟友企業均不允許提供中國企業。

從Applied Materials、Lam Research到KLA Corporation,再到關鍵材料與EDA工具,限制逐漸涵蓋設計—製造—設備—材料全鏈條。這階段的本質,不只是卡片設備,不是卡片材料,而是試圖維持現狀,讓中國永遠有技術代差。

第03部分

真假8年

ASML總裁落後8年說法是否成立?

它的邏輯是:EUV光刻已經8年沒有給到中國,而先進製程量產節點(7nm及以下)自2018年前後開始商業化,恰逢此時中國企業沒有高端光刻設備,缺乏EUV支撐,難以規模化進入5nm/3nm,先進邏輯晶片代際演進受阻。

從「最先進量產節點」這個單一指標來看,這說法有一定現實基礎。

但中國:

在成熟製程(28nm以上)、功率裝置、特色工藝(如BCD、CIS)等領域,中國並未“落後8年”,部分甚至具備競爭優勢。

在當前全球半導體需求中,汽車電子、工業控制等大量應用仍依賴成熟工藝,中國仍扮演重要角色。

透過多重曝光(multi-patterning),在DUV條件下仍可逼近更先進節點,儘管成本和複雜度更高。

第04部分

未來可期

未來中國半導體與世界的差距會擴大,還是越來越小?

1. 先進製程仍有差距

EUV及後續High-NA EUV仍將由ASML主導,中國短期難以追平,這是不得不承認的事實。

2. 成熟過程全面崛起

在28nm及以上領域,中國可望實現完全自主可控,並形成規模優勢,在全球佔據一席之位。

3. 技術路徑多元化

Chiplet(小晶片)、先進封裝等技術協同發展,將在一定程度上繞過製程瓶頸,重塑競爭規則。

短期內, 中國在最尖端領域可能仍有明顯差距,但在封鎖壓力下,會快速補齊產業鏈,並在部分環節形成反向突破。

小小寰球,有幾隻蒼蠅碰壁。嗡嗡叫,幾聲淒厲,幾聲抽泣。螞蟻緣槐誇大國,蚍蜉蝣談何易。正西風落葉下長安,飛鳴鏑。

多少事,從來急;天地轉,光陰迫。一萬年太久,只爭朝夕。四海翻騰雲水怒,五洲震盪風雷激。要掃除一切害人蟲,全無敵。

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